镀膜
| E-beam+IAD | IBS | APS | |
| 沉积率 | ~5Å/sec | 1-3Å/sec | 3-8Å/sec |
| 镀膜区域 | 300cm² | >2000cm² | |
| 温度 | 中 | 高 | 高 |
| 镀膜时温度范围 | 20-300°C | 20-150°C | 20-200°C |
| 镀膜层数 | ~50 | Up to 200 | Up to 80 |
| 密度 | 密集 | 接近密集 | 密集 |
| 耐久性、附着性 | 好 | 非常好 | 非常好 |
| 适度敏感性 | 小 | 无 | 无 |
| 老化效应 | 小 | 无 | 无 |
| 内应力 | ~100 MPa | Few 100 MPa | ~100 MPa |
| 损伤阈值 | 低 | 高 | 中 |
